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Lithographie: Winzige Gehirne – aus dem Licht geboren



Ohne Licht gäbe es keinen Computer. Denn mit Licht werden jene hauchfeinen Strukturen in die Silizium-Scheiben (Wafer) geätzt, durch die später Elektronen sausen. Lithographie nennen Experten, den Prozess, bei dem mit Licht Strukturen geschrieben werden.  
 
Dafür sind so genannte Waferstepper und Waferscanner nötig. Sie gehören zu den wichtigsten Maschinen für die Chipherstellung. Vom Funktionsprinzip her vergleichbar einem überdimensionalen Diaprojektor, werden im Waferstepper die Strukturen der Halbleiter-Bauelemente von einer Urmaske (Reticle) auf den mit Photolack beschichteten Wafer übertragen. Herzstück eines Wafersteppers sind die optischen Systeme für Beleuchtung und Projektion. Die Beleuchtungsoptik sorgt für die gleichmäßige und optisch definierte Ausleuchtung der Maske. Die Belichtungsoptik projeziert die Maskenstruktur um einen Faktor 4 verkleinert auf den Wafer, die Siliziumscheibe.  
 
Je höher die Leistungsfähigkeit eines Chips sein soll, um so feinere Strukturen muss die Optik erzeugen können. Der Weltmarkt für Computerchips ist gigantisch groß. Weltweit gibt es trotzdem nur drei Hersteller von Lithographiesystemen, davon zwei in Japan und mit der Carl Zeiss SMT AG eines in Deutschland. Die entwickelt und produziert optische Systeme für die Waferscanner für internationale Kunden. 

Zu den Lithographie-Spezialisten in Deutschland zählen neben der Carl Zeiss SMT AG, die Firmen Schott und Jenoptik. Die Firma AMTC am Elektronik-Spitzenstandort Dresden gehört zu den führenden Herstellern von Lithographie-Masken. Ziel der Techniker ist es, mit immer kleineren Wellenlängen immer feinere Chip-Strukturen zu schaffen.  
 
Firma AMTC am Elektronik-Spitzenstandort Dresden:  
www.amtc-dresden.de  
 
Carl Zeiss SMT:  
www.zeiss.de  
 
Schott:  
www.schott.de  
http://www.schott.com/magazine/german/download/info99/si099_02_euvl.pdf  
 
Jenoptic:  
www.jenoptik.de  
 

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